缺陷晶圆图单图分析系统,同样是将检测文本结果转换为晶圆大图形式,并可以进行更细致的操作和分析,如局部放大,
提供缺陷大数据与生产历史记录(使用的设备,反应腔)的交叉分析系统,将缺陷按照设
将多个晶圆缺陷检测结果(文本)转换为晶圆图形式,并同时展示在系统中并提供各种分析工具进行缺陷原因的诊断系统。
将缺陷检测结果与拍摄图片文件关联,并在此app中对缺陷图片进行查看,分类,并将分类结果更新到缺陷检测结果中,用于其他应用系统的统计分析等。
提供缺陷大数据与生产历史记录(使用的设备,反应腔)的交叉分析系统,将缺陷按照设
提供缺陷数据与其他参数间的相关性(散点图)分析,
此应用是晶圆企业生产制造部门用于Lot 优先级计算、更改、维护的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于缺陷的通知以及相关处置功能的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于产品通行证管理的工业App。
此应用是晶圆企业生产制造部门用于技术研发通行证管理的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于TF类型配方修改管理的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于CPK数据报告发布管理的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于质量指标管理的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于生产控制阈值管理的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于质量和监控数据报告公布的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于产品工艺流程更改工作清单管理的工业App
此应用是晶圆企业用于主生产计划在线管理的工业App
此应用是晶圆企业用于月度生产计划管理的工业App
此应用是晶圆企业用于Wafer Start和在制品工单管理的工业App
此应用是晶圆企业用于Wafer Out(下线)管理的工业App
此应用是晶圆企业用于Bank In/Out操作的工业App
此应用是晶圆企业用于订单技术参数补充的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于Lot在制品的工艺调整操作的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于相关数据文档发布、通知、相关部门Owner人员进行反馈,以及反馈情况收集、统计、分析和传输的工业App
在缺陷诊断分析中,对缺陷图片进行分类是首要的任务,如同医生看病需要先...
用于分析缺陷的原因,或者用于确定缺陷对于元器件性能或良率的影响。
此应用是主要针对的是由于低良率,可靠性失效,WAT failure,…
此应用是用于对机台设备的报警事件进行查看、分析、处置等全流程追踪管理...
此应用是晶圆企业生产制造部门用于产品主数据管理的工业App
此应用是晶圆企业生产制造部门用于物料需求预测运算的工业App