使用激光自动对焦系统快速扫描碳化硅晶片

来源:众壹云 发布日期:2021-09-23 10:19

自动对焦系统

早在 2019 年 5 月,Prior Scientific 就发布了 PureFocus 850,这是一款非常通用的硬件自动对焦系统,能够适应各种成像技术。现在,到 2020 年,多个 PureFocus 850 自动对焦系统将在现场投入使用,从而提高从工业部件扫描到生物研究等各个领域的生产力。

PureFocus 850 自动对焦:晶圆检测的优势

所述PureFocus 850是用于晶片检查非常有效的,并已用于与用于缺陷选择性蚀刻分析显著成功。PureFocus 850 帮助跨国半导体和电子制造商 STMicroelectronics 解决并克服了与使用传统自动对焦系统相关的若干挑战。主要成果之一是减少了每个样本的扫描时间。

STMicroelectronics 使用带有 PureFocus 850 的自动图像识别软件来分析其瑞典制造工厂中碳化硅晶片的质量。通过缺陷选择性蚀刻分析晶圆质量时,它会在碳化硅晶圆表面产生蚀刻坑。这些凹坑的数量、形态和分布表明样品中潜在缺陷的位置和类型。

传统的激光自动对焦系统分析从视野中心反射的信号,以计算理想的对焦位置。然而,如果样品表面不平坦,图像的外围区域可能仍然失焦。为了解决这个问题,意法半导体收购的 PureFocus 850 进行了校准,以分析整个视场中反射的信号,从而在每次自动对焦晶圆扫描过程中实现一致的对焦。

进行图像分析时,重点关注凹坑的底部以分析其形态,这意味着与碳化硅晶片的主反射面相比,感兴趣的成像平面会发生变化。PureFocus 850 的电动光学元件允许进行这种分析,它可以使成像平面从晶片表面偏移。

STMicroelectronics 还需要能够生成明场和暗场图像以促进其图像分析。直观的 PureFocus 850 用户界面使他们能够根据照明强度确定每种成像方法的优化设置,而不是必须在两者之间找到折衷方案。

PureFocus 850 自动对焦:用户优势

使用PureFocus 850 的工程师发现它是极其有效的自动对焦系统,显着提高了他们的样品分析吞吐量。

"我将它用于所有例行检查。检查时间 [已] 从 45 分钟减少到 7 分钟。"
Erik Sörman,开发工程师,意法半导体

PureFocus 850 使工程师能够获得更优质的图像,扫描时间减少 85%,聚焦误差小于 10 微米。

为了向意法半导体提供这种自动对焦解决方案,Prior 与瑞典最重要的分析仪器供应商之一 BergmanLabora AB 合作。产品专家Marie Andersson 是Prior 的 PureFocus 850 培训课程的首批参与者之一。

PF850 是任何缺乏硬件自动对焦的显微镜的绝佳补充。为我们的客户节省时间是非常有利的。PF850 的安装和维护也很容易,因为Prior 的培训和支持非常好且深入。【中】PF850简直就是一个好产品!"
玛丽安德森,产品专家

此后,BergmanLabora AB 继续向其所在地区的各种用户展示并提供额外的 PureFocus 850 自动对焦系统。

概括

PureFocus 850 的功能扩展到碳化硅自动对焦晶圆分析以外的其他应用,提高了时间效率并优化了图像质量,使 PureFocus 850 自动对焦系统成为未来的系统。PureFocus 850 能够在广泛的显微分析过程中显着提高吞吐量,是一款多功能的图像采集硬件,有望在整个行业中获得流行地位。